Nirxa hedef a şilbûna nisbî di odeyeke paqij a nîvconductor (FAB) de

Nirxa hedef a şilbûna nisbî di odeyeke paqij a nîvconductor (FAB) de bi qasî %30 heta %50 e, ku rê dide marjeyeke xeletîyê ya teng a ±%1, wek mînak di herêma lîtografiyê de - an jî kêmtir di herêma pêvajoya ultraviyole ya dûr (DUV) de - dema ku li deverên din ew dikare heta %5 were sistkirin.
Ji ber ku şilbûna nisbî gelek faktor hene ku dikarin performansa giştî ya odeyên paqij kêm bikin, di nav de:
1. Mezinbûna bakteriyan;
2. Rêzeya rehetiya germahiya odeyê ji bo karmendan;
3. Barkirina elektrostatîk xuya dibe;
4. Korozyona metalan;
5. Kondensasyona buxara avê;
6. Xerabûna lîtografiyê;
7. Mijandina avê.

Bakterî û gemarên din ên biyolojîk (qûf, vîrus, fungî, kêzik) dikarin di jîngehên ku rêjeya şilbûna wan ji %60 zêdetir e de geş bibin. Hin civakên bakteriyan dikarin di rêjeya şilbûna wan ji %30 zêdetir de mezin bibin. Şîrket bawer dike ku divê rêjeya şilbûnê di navbera %40 û %60 de were kontrol kirin, ku ev yek dikare bandora bakteriyan û enfeksiyonên rêyên nefesê kêm bike.

Şilbûna nisbî ya di navbera %40 û %60 de jî ji bo rehetiya mirovan rêjeyek nerm e. Şilbûna zêde dikare bibe sedema bêhna mirovan, lê şilbûna di bin %30 de dikare bibe sedema hişkbûn û çermê şikestî, nerehetiya nefesê û bêbextiya hestyarî.

Germahiya zêde di rastiyê de kombûna barên elektrostatîk li ser rûyê odeya paqij kêm dike - encamek xwestî. Germahiya nizm ji bo kombûna baran îdeal e û çavkaniyek potansiyel a zirardar a rijandina elektrostatîk e. Dema ku germahiya nisbî ji %50 derbas bibe, barên elektrostatîk dest bi zû belavbûnê dikin, lê dema ku germahiya nisbî ji %30 kêmtir be, ew dikarin demek dirêj li ser îzolek an rûyek bêerd bimînin.

Şilbûna nisbî ya di navbera %35 û %40 de dikare wekî lihevkirinek têrker were bikar anîn, û odeyên paqij ên nîvconductor bi gelemperî kontrolên zêde bikar tînin da ku kombûna barên elektrostatîk sînordar bikin.

Leza gelek reaksiyonên kîmyewî, tevî pêvajoyên korozyonê, dê bi zêdebûna şilbûna nisbî zêde bibe. Hemû rûberên ku li dora odeya paqij dikevin hewayê bilez in.